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国内首台套场发射枪扫描电子显微镜顺利通过科技成果评价

6月8日，中国仪器仪表行业协会组织的“场发射枪扫描电子显微镜科技成果评价会”在北京中科科仪股份有限公司举行，会议由中国仪器仪表行业协会秘书长李跃光主持。

　　评价委员会由中国科学院院士朱静、中国人民解放军军事科学医学院教授张德添、中国科学院电工研究所研究员韩立、中国科学院理化技术研究所研究员孟祥敏、北京大学教授级高级工程师徐军、中国科学院大学教授陈广超、中国科学院化学研究所高级工程师关波七名专家组成，朱静院士担任主任委员。

　　北京科仪项目团队就“场发射枪扫描电子显微镜”成果的先进性、创新性以及该项目带来的经济效益和社会效益向评价委员会做了全面汇报。该项目的完成开创了国产热场发射枪扫描电子显微镜的先河，分辨率达到1.0nm@30kV、3.0nm@1kV，并已取得授权发明专利11项、软件著作权3项，为解决高端科学仪器装备“国产替代”方面的问题做出了积极贡献。该项目成果形成的产品已服务于教学、科研、经济等领域，深受客户好评，取得了显著的经济效益和社会效益。

　　评价委员会专家审查了相关资料，现场考察了相关产品的生产、试验情况，经过质询和讨论，评价委员会成员一致同意通过评价，认为北京科仪研制的场发射枪扫描电子显微镜作为2014年国内首台套，具有自主知识产权，该仪器设计结构合理、选材适当、制造工艺先进，主要性能指标达到国际同类产品先进水平。

　　自1965年研制成功第一台DX-2透射电镜开始，北京科仪在电子光学领域持续耕耘50余年，通过技术传承与创新，打造了一支高精尖电子光学领域专业人才队伍，持续推出系列化电镜产品，从第一台扫描电子显微镜到第一台场发射枪扫描电子显微镜，不断打破国外技术垄断，填补国内高端仪器装备领域空白。作为国家战略科技力量投资兴办的企业，北京科仪将继续以解决国家高端仪器装备领域“卡脖子”问题为己任，为强化国家战略科技力量、实现科技自立自强做出新的贡献。

　　评价会现场

　场发射枪扫描电子显微镜